Thang đo độ cứng Vickerse với tải từ 0,01 kgf đến 0,1 kgf. Đầu đo được làm từ kim cương với dạng hình cầu, ở chóp là hình tháp. Vị trí các điểm đo được xác định sao cho phù hợp với tiêu chuẩn và theo hướng từ ngoài vào trong. Phép đo thực hiện tới khi giá trị độ cứng ổn định, đấy chính là vật liệu nền, từ sự chênh lệch độ cứng, giúp xây dựng công thức thực nghiệm để xác định chiều sâu lớp thấm hoặc lớp thoát.
Kết quả minh họa
Kết quả đo độ cứng tế vi của một mẫu thép sau khi thấm.
Biểu đồ đo độ cứng tế vi
Như vậy từ biểu đồ ta có thể thấy được sự biến thiên độ cứng tế vi từ ngoài vào trong, độ cứng của vật liệu lõi cũng như chiều sâu của lớp thấm.